ＡＤＥＫＡ、千葉工場で先端フォトレジスト向け光酸発生剤の生産能力を2倍に増強

株式会社ＡＤＥＫＡは、半導体の先端リソグラフィ工程で使用される光酸発生剤の生産設備を増強すると発表した。千葉工場の既存建屋内に製造ラインを増設し、2028年9月の営業運転開始を予定している。今回の投資により、旺盛なEUVリソグラフィ向け需要に対応し、供給能力を従来比で約2倍に引き上げる。